Dowex Marathon MR‑3 UPW – Ultra Saf Su Sistemleri için Karışık Yatak Reçinesi

Dowex Marathon MR‑3 UPW, electronic‑grade tasarlanmış güçlü asit katyon ve güçlü baz anyon reçinelerinin optimize edilmiş karışımıdır. Kontrollü üretim süreci, ultra düşük metal kontaminasyonu ve partikül çıkışı sunarak ISO 14644‑1 Sınıf 4 temiz oda gereksinimlerini karşılar.

Yüksek kapasitesi, UPW cilalama kolonlarında çift haneli GΩ direnç değerlerine kadar su kalitesi sağlayarak çip üretim hatlarında süreç verimini artırır. Reçinenin mekanik dayanımı, yüksek debili rejenerasyon adımlarında kırılmayı önler.

Teknik Parametreler

• Reçine oranı: 40 % Katyon / 60 % Anyon
• Tipik kapasiteler: 0,9 eq/L (Katyon), 1,1 eq/L (Anyon)
• Maximum servis sıcaklığı: 60 °C
• TOC atılımı: < 5 ppb (24 saat)

Avantajlar

• Yüksek direnç: 18 MΩ·cm üzerinde sabit su kalitesi.
• Düşük gz‑3 partikül çıkışı: Fotolitografi adımlarında yüzey kusurlarını azaltır.
• Azaltılmış kimyasal tüketim: Düşük NaOH ve HCl ihtiyacı.

SSS

Rejenerasyon sıklığı nedir?
Tipik olarak 1–3 hafta, proses yüküne bağlıdır.

Hangi tank malzemeleri ile uyumlu?
PVC, CPVC, PVDF ve paslanmaz 316L.

Çevre mevzuatına uygun mu?
Evet, RoHS ve REACH uyumlu hammaddeler kullanılmıştır.